Depositionslabor

Das Depositionslabor bietet einen umfangreichen Gerätepark für Dünnschichtabscheidungen. Ein Vielzahl unterschiedlicher Materialien kann hier abgeschieden werden. Vorhanden sind unter anderem: - Univex 300 Thermal Evaporation System (Leybold) - Univex 450C (Leybold) - Rapid Thermal Annealing Oven - Thin Film Processing Equipment